非对称双极脉冲磁控溅射制备Ti-Co-La-N纳米薄膜性能

摘要：

利用非对称双极脉冲磁控溅射制备了不用Co-La掺杂量的Ti-Co-La-N纳米复合薄膜.分别用扫描电子显微镜、X射线衍射、纳米压痕仪、划痕仪以及摩擦磨损仪研究了薄膜的表面形貌、结合力、显微硬度和摩擦学性能.结果表明:复合薄膜主要有TiN相、Co2N相和LaN相组成;复合膜的纤维硬度达到14.61 GPa,低于TiN的显微硬度;复合薄膜的显微硬度和结合力都随着Co-La掺杂量的增加而降低;在高速钢基体上复合薄膜的摩擦系数达到了0.6.

关键词：纳米复合、Co-La掺杂、TiN

所属期刊栏目：31

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

在线出版日期：2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：133-136