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TiN/Ti(C,N)涂层的显微组织与力学性能

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采用磁控溅射在TNMG120408型号的硬质合金刀片上沉积了TiN/Ti(C,N)单层与多层涂层,通过XRD、SEM、纳米压痕、划痕仪与冲击测试等方法,比较分析了TiN/Ti(C,N)涂层的显微组织与力学性能.结果表明,TiN单层涂层的晶粒形貌为典型的喇叭口结构,Ti(C,N)单层涂层为平直的柱状晶结构;而TiN/Ti(C,N)多层涂层为柱状晶结构,形成了TiN、Ti(C,N)交替排列的结构.TiN与Ti(C,N)单层涂层均呈(220)生长织构,而TiNITi(C,N)多层涂层呈(111)生长织构.Ti(C,N)单层涂层表现出较好的硬度,而TiN/Ti(C,N)多层涂层则表现出与基体更好的结合力.

TiN涂层、Ti(C、N)涂层、显微组织、力学性能

30

TG174.444(金属学与热处理)

国家自然科学基金创新研究群体基金50721003

2009-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

119-122

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材料热处理学报

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30

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