沉积和退火温度对多晶ZnO薄膜结构特性的影响

摘要：

采用RF反应溅射法在Si(111)衬底上制备出了沿C轴高度取向的多晶ZnO薄膜.通过对ZnO薄膜的X射线衍射(XRD)分析,研究了沉积温度及退火对多晶ZnO薄膜取向性、晶粒大小和应力的影响.结果表明,衬底温度和退火温度对多晶ZnO薄膜的晶体结构影响显著.适当的提高衬底温度或适当的增加退火温度都能有效地改善ZnO薄膜的结构特性,但增加退火温度更有优势.同时原子力显微镜观察表明,退火能有效地降低ZnO薄膜的表面粗糙程度.

关键词：多晶ZnO薄膜、RF反应溅射、退火、结构特性

所属期刊栏目：27

分类号：TG1(金属学与热处理)

在线出版日期：2007-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46