ZrN及其多层膜的性质和耐腐蚀性能

摘要：

用磁过滤电弧制备了ZrN和ZrN/TiN多层膜,磁控溅射制备了ZrN薄膜.结果表明,ZrN/TiN多层膜,由于纳米多层化作用,硬度高于ZrN和TiN的26GPa和21GPa,平均值达到34.5GPa.X射线衍射分析表明,ZrN/TiN多层膜由ZrN和TiN组成.过滤电弧制备的ZrN和ZrN/TiN多层膜的结合力为81N和77N,磁控溅射制备的ZrN薄膜的结合力为26N.极化曲线的结果显示,过滤电弧制备的ZrN和ZrN/TiN多层膜的耐腐蚀性显著优于磁控溅射制备的ZrN薄膜,讨论了两种方法制备薄膜性能差异的原因.

关键词：硬度、多层薄膜、耐腐蚀性

所属期刊栏目：24

分类号：TG174.444;TG172(金属学与热处理)

资助基金：国家重点实验室基金01-03

在线出版日期：2004-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58