网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究

摘要：

介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体结合良好.分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力.

关键词：网状阴极溅射、空心阴极效应、氮化钽薄膜

所属期刊栏目：23

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：山西省青年基金991020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61