钽表面离子渗氮工艺研究

摘要：

采用组合的二次回归正交设计方法,针对表面硬度、表面粗糙度,对钽表面离子渗氮工艺参数(气体压力、温度、氢气摩尔分数)进行了优化.根据回归结果和统计分析给出了回归方程.

关键词：钽、离子渗氮、工艺

所属期刊栏目：22

分类号：TC156.8+2;TG146.4+16

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：48-50