铝合金等离子体基离子注入氮/钛结构及摩擦学特性

摘要：

通过X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GXRD)分析测定了铝合金LY12等离子体基离子注入氮再注入钛的改性层成分分布及相组成.测量了纳米硬度,进行了摩擦磨损试验及磨痕形貌观察.讨论了磁控靶溅射电流40mA、400mA对改性层结构和摩擦学性能的影响.结果表明,氮在注入层呈高斯分布,钛沿注入方向逐渐减少,钛的注入使氮的分布展宽,在400mA下注钛有钛的沉积层出现.和LY12相比,摩擦学性能显著提高,粘着磨损程度显著减轻,400mA下改善幅度更大,形成TiO2、TiN、TiAl3、Al203、AlN或Ti相是主要原因.

关键词：铝合金、等离子体基离子注入(PBII)、纳米硬度、摩擦学、粘着磨损

所属期刊栏目：22

分类号：TG146.2+1;TG174.442(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59771059

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：9-14