刚柔耦合定位平台结构-运动-控制一体化建模

摘要：

针对微电子制造行业等领域中的长行程高精度定位问题,提出 了 一种刚柔耦合定位平台,并建立了其结构-运动-控制一体化动力学仿真模型.首先,根据刚柔耦合定位平台的结构特点对浮动坐标法进行修改,建立了简洁高效的动力学仿真模型.其次,结合动力学模型、3阶S型曲线和经典的PID控制方法建立了结构-运动-控制一体化仿真模型.最后,通过数值算例对仿真模型的有效性进行了验证.数值模拟结果显示,建立的结构-运动-控制一体化仿真模型能够有效地对定位平台的工作过程进行模拟,为后续的结构优化、运动规划和控制系统设计等工作创造条件.

关键词：刚柔耦合定位平台、动力学、结构设计、运动规划、控制系统

所属期刊栏目：40

分类号：TH123+.1;O313

资助基金：国家自然科学基金11702065

在线出版日期：2023-07-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：375-380