蠕动爬行微电机械力-电耦合的致动特性分析

摘要：

对于以施加电场作为驱动的蠕动爬行微电机构,在柔韧薄板理论和电学物理基础上,通过考虑驱动元件在电场力作用下的几何非线性变形和与结构变形相关的电荷分布及电场力分布,建立了其驱动元件的非线性耦合模型.在此基础上,采用矩量法和增量有限元法相结合,给出了其微电机构在失稳前由弯曲变形引起的蠕动距离随外加电压之间的特征关系.

关键词：微电机械、蠕动爬行、力-电耦合、非线性弯曲、致动特性

所属期刊栏目：20

分类号：O343;O442(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金;科技部"攀登计划";教育部高校骨干教师资助计划;高等学校博士学科点专项科研项目

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：518-522