镍钴锌铁氧体/二氧化硅复合靶材的制备

摘要：

溅射靶材的利用率低,导致其成本高.以自制的纳米晶镍钴锌/二氧化硅复合铁氧体粉体为原料,冷等静压后高温烧结制备成磁控溅射复合靶材.用XRD和SEM分析靶材的物相成分和微观形貌.结果表明:靶材为尖晶石型铁氧体和二氧化硅的复合材料,表面平整,残留着微米级的气孔,靶材收缩率达14%,可承受300W左右的溅射功率.整个制备过程工艺简单,设备操作方便可行,靶材成本低.

关键词：溅射靶材、冷等静压、铁氧体、收缩率

所属期刊栏目：26

分类号：TM277(电工材料)

资助基金：江苏省铝基复合材料工程研究中心研发项目BM2003014

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：354-356