基于机器视觉的硅锭端面隐裂检测方法

摘要：

硅锭在生产过程中难以避免有端面隐裂的发生,严重影响生产线的安全性能和生产效率,为此提出一种改进背景差分的硅锭端面隐裂自动检测方法;首先,分析端面隐裂的特点,采用中值滤波来对图像进行预处理;其次,采用图片样本库训练得到背景图像,并对常用差分算法进行改进,在对图像进行差分的同时增强隐裂缺陷;再根据隐裂缺陷的最大比例不超过10％,进一步去除差分图片中的大部分背景点;最后,再提取隐裂缺陷区域,对区域进行连通域分析,并根据缺陷区域面积来判断端面是否有隐裂;对硅碇端面隐裂缺陷的仿真结果和现场实践表明,该方法识别的准确率达96.4％,召回率达98.5％,识别时间低于200 ms,很好地满足了现场运行的需求.

关键词：背景差分、硅锭、隐裂缺陷、自动检测、连通域分析

所属期刊栏目：31

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：36-41