基于光纤多波长激光器的相位延迟高精密测量系统设计

摘要：

针对当前相位延迟测量系统,缺少对入射光源的分析,导致不同波长光源对应平移量误差大,造成相位延迟测量精度低的问题,设计了基于光纤多波长激光器的相位延迟高精密测量系统;通过分析光纤散射原因,选取532 nm半导体激光作为系统光源,采用伺服电机为系统供电,使用SGX5528光电探测器实现光转换为电,从而获得不同位置间的电位差;利用聚乙烯醇薄膜拉伸型人造偏振片,使入射的纵光或横光具有起偏特性,并测量偏振片的透振方向和横轴夹角,完成系统硬件设计;设置两束激光光源,调整偏振棱镜,使光强输出达到最大值,并利用直接测量法,计算待测波片的相位延迟,通过调整电光调制器晶轴方位,保证光束垂直入射到器件表面,完成系统软件设计,实现相位延迟高精密测量;实验结果表明,该系统在L0、L1、L2位置下的平移量误差分别为0.008 mm、0.0071 mm、0.002 mm,均小于理想允许误差,能够有效提高相位延迟测量精度.

关键词：光纤多波长激光器;相位延迟;高精密测量;测量系统

所属期刊栏目：30

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：92-97