压阻式高温压力传感器温度补偿与信号调理设计与测试

摘要：

设计制作了一种集成信号调理电路的高温压阻式压力传感器,包含倒装式的压敏敏片、无源电阻温度补偿电路和信号调理电路组成;压敏芯片的制作采用SOI材料和MEMS标准工艺,温度补偿和信号调理电路采用高温电子元件;试验表明,无源电阻温度补偿具有显著的效果;此外,采用了高温信号调理电路来提高传感器的输出灵敏度,通过温度补偿来降低输出灵敏度;与传统的经验算法相比,所提出的无源电阻温度补偿技术具有更小的温度漂移,在220 ℃条件下传感器输出灵敏度为4.93 mV/100 kPa,传感器灵敏度为总体测量精度为±2％FS;此外,由于柔性传感器的输出电压可调,因此不需要使用一般的电压转换器随动压力变送器,这大大降低了测试系统的成本,有望在恶劣环境下的压力测量中得到高度应用.

关键词：高温压阻式压力传感器、无源电阻温度补偿、信号调理

所属期刊栏目：29

分类号：TP98

资助基金：山西省重点研发计划项目;山西省自然科学基金项目

在线出版日期：2021-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：256-261,266