基于STM32离子注入机剂量检测控制器的设计

摘要：

设计了一种基于STM 32F407微处理器的离子注入机剂量检测控制器,首先介绍了剂量控制器的整体设计和工作原理及如何实现离子束流精确检测、按设定的剂量均匀地注入到晶片表面,然后对控制器的电流／电压变换、峰值检测、校准电流源、模／数转换等硬件电路设计和控制软件设计作了详细的介绍;实验结果表明该控制器实现了大范围束流的快速量程切换,量程切换时间达到1 ms以上,束流测量精度小于0.4％,最小量程低至2 μA,测量漂移精度小于0.3％,该控制器结构简单,工作稳定可靠,有广泛的应用前景.

关键词：STM32微控制器、离子注入、剂量检测与控制、波形发生器

所属期刊栏目：27

分类号：TP273.5(自动化技术及设备)

资助基金：湖南省教育厅科学研究重点资助项目18A377;长沙市科技计划研发重点项目K1705006

在线出版日期：2019-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：80-84