MEMS高量程微加速度计温度补偿的设计

摘要：

目前基于压阻式MEMS加速度计的测量精度还不是很高,为了提高其精度,文中采用TI公司新一代的数字信号处理器TMS320F2812实时操作系统,通过对复合量程微加速度计的特性分析,找出加速度计温度漂移的变化规律;采取温度补偿措施消除温度变化带来的测量误差;系统依据数字温度传感器DS18B20提供温度参数,采用最小二乘法的软件算法对测量数据进行补偿处理;该系统处理时间短,可以满足其使用要求,算法简单有效,可以显著提高测量精度;实用表明使用高速DSP器件并采用有效的信号处理方法可以显著地改善MEMS加速度计的性能.

关键词：信号采集、温度补偿、数据处理

所属期刊栏目：20

分类号：TB934(计量学)

资助基金：微型机械电子系统MEMS测试计量技术与理论研究50535030

在线出版日期：2012-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：2857-2859