基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法

摘要：

针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于T-S模糊模型的CMP过程智能run-to-run (R2R)预测控制器FIPR2R；通过G-K聚类算法和最小二乘法对CMP过程的T-S模糊预测模型离线辨识,解决了复杂CMP过程难以建立精确数学模型的难题和提高了模型预测精度;通过双指数加权移动平均(dEWMA)中对过程扰动及漂移进行估计的方法实现反馈校正和基于克隆选择算法的滚动优化求取最优控制律;提高了控制精度;性能分析结果表明,FIPR2R控制器的控制性能优于dEWMA方法,有效抑制了过程扰动和漂移的影响.

关键词：化学机械研磨、T-S模糊模型、批次控制、预测控制、克隆选择

所属期刊栏目：20

分类号：TP202(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技重大专项基金2009ZX02008-003,2009ZX02001-005;沈阳市科技项目108155-2-00

在线出版日期：2012-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1558-1561