ICP光源中频率测量装置的设计
针对产生并维持电感耦合等离子体(ICP)的要求,简要介绍了频率稳定性对于ICP光源的意义,提出了测量范围为1.8~52MHz的频率测量装置的设计方案;文章详细分析了频率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、可变增益放大器和控制单元,并介绍了频率测量的软件设计方案;利用数字频率特性测试仪SA1050对频率测量装置进行了测试,在氩气等离子体的激发实验中,对ICP光源的频率稳定性进行了测量,通过对实验数据的分析统计,得到ICP光源的频率稳定度≤±0.1‰,可以满足ICP光源的使用要求.
ICP光源、频率测量、射频
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TN741(基本电子电路)
国家"十一五"科技支撑计划项目2006BAK03A01
2010-06-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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