基于差分的动态加权SVDD在多模态过程故障检测中的应用

摘要：

传统SVDD作为一种单模态静态故障检测算法,对多模态动态过程故障的检测难以保证其检测的准确性和实时性.为了解决这一问题,提出一种基于近邻差分加权动态SVDD检测方法(NND-DWSVDD).首先利用NND剔除数据多模态结构,保证过程数据服从单峰分布;对差分处理后的数据引入动态方法并加入权值将有用的信息凸显出来;最后利用SVDD方法建立监测模型实现在线监测.NND-DWSVDD提高了多模态动态过程故障检测率,对于多模态动态过程故障检测,NND-DWSVDD不要求多模型建模,只需单独的一个模型,符合单模态故障检测要求.通过多模态数值例子和半导体生产过程数据对该方法的有效性进行了验证.

关键词：多模态、近邻差分、动态加权、支持向量数据描述、故障检测

所属期刊栏目：36

分类号：TP277(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金面上项目;辽宁省教育厅重点实验室基础研究项目;辽宁省自然科学基金资助项目;辽宁省教育厅一般项目

在线出版日期：2020-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3777-3780