半导体制造设备预维修调度的知识进化算法研究

摘要：

设计了求解半导体制造设备预维修调度问题的知识进化算法方案,详细地阐述了方案的具体实现过程,并计算了其他文献中的仿真实例.仿真实验结果表明了提出的知识进化算法方案优于其他文献中的粒子群算法方案和先来先服务方案.

关键词：半导体、制造设备、预维修调度、知识进化算法

所属期刊栏目：28

分类号：F406;TP29(工业经济理论)

资助基金：国家教育部人文社会科学研究基金资助项目09YJC630152;上海市教育委员会科研创新资助项目09YS486

在线出版日期：2011-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：2055-2056,2069