化工行业气体MEMS传感技术展望

摘要：

近年来由易燃易爆及有毒气体泄漏引起的化工领域安全问题日益突出,相应的气体监检测技术升级需求异常迫切.传统传感器虽已被广泛使用,但在面对未知环境或复杂气氛的混合气体时,依然存在诸多局限,无法满足实际风险防控需要.随着微传感技术的快速发展,特别是其在电子设备领域的广泛使用,使得其正在深刻改变人类社会,也为化工安全领域的气体传感器变革提供了新启示.本文对MEMS传感技术已有的应用进行了系统梳理,总结了物联网时代传感器的三大特征;分析了化工行业气体MEMS传感器需要具备的基本技术要求;并对未来化工行业新型MEMS气体传感技术的研究重点和发展方向进行了探讨.

关键词：化工过程安全、微传感器、智能传感、监测预警、片上系统、物联网

所属期刊栏目：36

分类号：TQ08;TP21(一般性问题)

资助基金：国家重点研发计划2018YFF01010804

在线出版日期：2020-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：500-503