支持向量机算法在氮化铝薄膜生长过程控制中的应用

摘要：

用作压电材料的氮化铝薄膜要求有100或002晶体取向.薄膜的晶体取向与薄膜制备时的溅射气压、靶基距、靶功率有关.本工作应用支持向量机算法总结实验数据的数学模型,并用留一法检验模型的预报能力.计算表明:支持向量机算法的预报能力较传统的模式识别算法如Fisher法或KNN法为佳.有希望成为实验设计的有用工具.

关键词：氮化铝薄膜制备、支持向量机算法、实验设计

所属期刊栏目：19

分类号：O06-04

资助基金：国家自然科学基金9716214;美国福特公司联合资助项目9716214

在线出版日期：2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：726-728