ITO导电薄膜表面缺陷的图像特征分析

摘要：

针对ITO导电薄膜缺陷人工分类效率较低的问题,提出了一种基于灰度差分统计法、灰度共生矩阵法和矩描述法的缺陷特征分析方法.首先,通过灰度差分统计对比得出各缺陷的熵值,利用熵值进行一次分类;其次,通过灰度共生矩阵,提取了二阶矩、对比度和相关性的数值,通过这三个数值分别设置阈值并对图表进行分析完成对5种缺陷的分类;最后,根据矩描述的特性并通过实验对矩方法的可行性进行了分析.实验中,取熵值的阈值为0.5,二阶矩的阈值为230,对比度的阈值为140,相关性的阈值为22,通过这四个参数的阈值可以达到将5种缺陷分类的效果.实验结果表明,基于灰度差分统计法和灰度共生矩阵法的分类方法可以更有效地完成缺陷分类.

关键词：ITO导电薄膜、灰度差分统计、灰度共生矩阵、矩、阈值

所属期刊栏目：37

分类号：TP751.1(遥感技术)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ220749

在线出版日期：2017-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：198-200,210