基于线距标准样片的扫描电镜校准方法探讨

摘要：

为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法.首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标准样片,并对样片进行了质量参数考核.其次,分析了现有检定规程的局限性,并研究了扫描电镜放大倍数示值误差、重复性、图像线性失真度等参数的实际校准方法.最后,使用自行研制且经过溯源的线距标准样片对扫描电镜在100K倍下的示值误差进行了校准实验,结果表明:自行研制样片的指标可以达到校准电镜的要求,被校电镜的示值误差在2％的范围以内,校准方法有效.

关键词：扫描电镜、半导体工艺、标准样片、质量参数、校准方法

所属期刊栏目：49

分类号：O436.3(光学)

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：644-648