基于标准样片的集成电路测试系统校准装置研究∗

摘要：

标准样片是实现微电子量值溯源和传递的良好途径,而基于标准样片的集成电路测试系统校准装置使得标准样片的量值可以准确可靠地传递到测试系统每个通道上,满足测试系统全通道覆盖的校准需求.论文提出了一种基于标准样片的集成电路测试系统校准装置架构设计方法,该设计方案具备一定的创新性,可以实现校准装置的通用性、便携性以及校准过程的自动化.

关键词：标准样片、溯源性、校准

所属期刊栏目：47

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2020-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-14,225