基于MEMS微振镜的高精度正弦光栅产生方法

摘要：

为提高相位测量轮廓术中正弦光栅的精度,提出一种基于MEMS微振镜的新型正弦光栅产生方法.采用对矩形光栅叠加的思想,在图像传感器一次曝光过程中,对多幅亮度相同、周期相同、占空比不同的矩形光栅进行光积分,最终输出正弦光栅图像.实验分析表明,相比基于光强调制方式的传统正弦光栅产生方法,该方法解决了非线性失真问题,能够产生更高精度的正弦光栅,具有成本低、体积小、能够通过编程灵活变换光栅图案等优点.

关键词：正弦光栅、非线性失真、MEMS、失真度

所属期刊栏目：46

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2018-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：367-370,401