半导体分析仪微小电流校准方法研究磁

摘要：

半导体分析仪作为目前半导体器件 I‐V 特性曲线的最重要测量仪器，其微小电流低至 pA 量级，准确度至1％，采用常规直接测量方法无法实现，论文在研究校准方案的基础上，利用“加压测流法”对 G Ω量级高值电阻器进行标定，设计与其配套的无源低电流适配器，巧妙利用 Guard 技术实现对 pA 、nA 量级微小电流的校准。采用“传递比较法”与上级机构对1pA ～10nA 的微小电流进行验证，试验数据验证了论文校准方案的正确性。论文技术成果已经应用于半导体工艺线源表类测试系统的校准中，值得借鉴推广。

关键词：半导体分析仪、适配器、微小电流、高值电阻器、Guard 技术

分类号：TM561(电器)

在线出版日期：2015-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-20,43