基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究

摘要：

以二维动态元胞自动机理论为基础,提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞自动机(Cellularautomata)算法.利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞搜索,提高了算法效率,并通过改进元胞信息的存储方式,使得三维元胞阵列得以存储于二维矩阵中.最后利用OpenGL技术对刻蚀结果进行三维成像.该算法在个人计算机上实现了较高分辨率(4000×4000像素)的三维刻蚀模拟与显示.通过对比玻璃刻蚀的实验结果和前人的研究评估模型,模拟结果完全能够实现对刻蚀结果的预测.文中的研究表明:建立的三维元胞自动机算法可以有效地应用于玻璃刻蚀过程的模拟.

关键词：玻璃芯片、湿法刻蚀、元胞自动机、OpenGL三维成像、计算机模拟

所属期刊栏目：31

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：本文课题得到国家"八六三"MEMS重大专项基金2004AA404260;国家自然科学基金50605006,50675025

在线出版日期：2008-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：868-874