10.3969/j.issn.1009-0177.2006.03.005
超纯水制造系统中关于TOC的去除、检测和控制管理
就半导体工厂超纯水制造系统中的一个重要污染物TOC进行了比较全面的分析和说明,阐述了超纯水制造系统中TOC的来源、去除方法、检测手段以及控制管理,对半导体工厂的制水管理人员有很好的借鉴作用.
TOC、去除、检测、控制管理
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TU99(地下建筑)
2006-07-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
17-19
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10.3969/j.issn.1009-0177.2006.03.005
TOC、去除、检测、控制管理
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TU99(地下建筑)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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