晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析

摘要：

随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换.为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初始暂态具有重要意义.此外,组合设备除机械手外没有缓冲,使系统的调度和控制变得更加困难.基于eM-Plant仿真平台和优化算法,对重入加工双臂组合设备的初始暂态进行建模和仿真,分析了重入加工的初始暂态至稳态的过渡过程.采用仿真例子验证了该仿真系统的有效性,为组合设备重入加工的优化控制提供了借鉴.

关键词：自动化组合设备、重入加工、建模与仿真、eM-Plant

所属期刊栏目：21

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目71361014;江西省自然科学基金资助项目20121512040080;江西省教育厅资助项目GJJ13418.Project supported by the National Natural Science Foundation,China71361014;the Natural Science Foundation of Jiangxi Province,China20121512040080;the Science Foundation of Jiangxi Education Department,ChinaGJJ13418

在线出版日期：2015-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2072-2078