整体式晶圆连续自动物料搬运系统性能分析

摘要：

为了快速、准确地评估整体式连续自动物料搬运系统的在制品量,引入排队理论中的相关知识构建了数学性能分析模型.在考虑捷径布置与转向装置服务时间变动性的基础上,采用合适的排队模型构建针对Inter-bay的性能分析模型.在考虑加工设备有限缓存容量、损失晶舟循环反馈的情况下,应用M/M/I/K模型及其反馈特性构建Inrabay的性能分析模型.以24个Intrabay的300mm晶圆制造系统为例来验证分析模型.通过与A-rena软件仿真结果对比分析,证明了数学分析模型在评估系统在制品、设备利用率等相关性能方面的准确性.

关键词：晶圆制造、整体式布局、自动物料搬运系统、排队模型、连续物料搬运

所属期刊栏目：19

分类号：TP29(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61273035,71071115;the National Natural Science Foundation,China61273035,71071115

在线出版日期：2013-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1313-1320