基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法

摘要：

为了对大规模、复杂的晶圆制造系统进行有效建模,提出了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统分层建模方法.在设备层,对晶圆制造系统的系统资源、内部行为和知识进行封装,建立了设备层代理模型.在设备组层和系统层,根据系统需求对各设备组内部及其之间的关系进行配置,分别建立了设备层和系统层代理模型.该方法提高了模型的可配置和重用性,降低了建模的复杂性,同时将知识与模型的库所和变迁集成,增强了模型的运行决策能力.通过上海某企业的150 mm晶圆的生产数据验证,证明了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统模型的有效性.

关键词：代理、晶圆制造系统、Petri网、建模

所属期刊栏目：15

分类号：TH166

资助基金：国家863计划资助项目2007AA04Z109;国家自然科学基金资助项目50575137

在线出版日期：2009-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1921-1929