基于鼓-缓冲器-绳子理论的半导体晶圆厂车间层控制

摘要：

为了将鼓-缓冲器-绳子理论应用于带回流的半导体晶圆厂车间的作业控制,通过设置回流缓冲,对传统鼓-缓冲器-绳子理论进行了修正,提出了一套适合带回流生产线的生产作业方法.针对瓶颈资源上的负荷堆积情况,提出了基于EDD和CR法则的推平原则,将瓶颈负荷推平.负荷推平后,根据瓶颈设备的实际可用情况,对瓶颈设备上的生产安排进行合理化,得到各订单的投料时间及出货时间安排.算例结果证明了该方法的可行性和有效性.

关键词：鼓-缓冲器-绳子理论、晶圆制造、回流、缓冲设置、生产控制

所属期刊栏目：12

分类号：TP278(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：111-116