一种半导体自动化制造系统中的死锁避免

摘要：

在半导体自动化制造TRACK系统中,由于没有缓冲空间,死锁避免更加困难,保守策略大大降低资源利用率.而路径的柔性为获得更有效的死锁避免策略提供了可能性.本文采用面向资源的着色Petri网建模,基于该模型并利用路径柔性,提出一个系统无死锁的充分条件,并给出相应的控制规律.依据该规律,系统中任务的个数不受限制,并能处理多晶片类型.最后,给出一个说明本方法的应用实例.

关键词：半导体制造、Petri网、死锁避免

所属期刊栏目：9

分类号：TP206+.3(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：25-32