全自动上芯机的晶片检测系统

摘要：

全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,IC检测系统是其核心技术.晶片检测系统主要构件包括光源,CCD,图像采集卡等硬件设施,以及专用的芯片处理检测算法.文章详细介绍了基于图像处理的晶片专用检测系统的搭建,分析了图像检测要求,提出了相应的检测算法.系统地完成图像采集、图像预处理、芯片定位、芯片检测等多个功能.

关键词：全自动上芯机、图像预处理、晶片检测

所属期刊栏目：42

分类号：TP39(计算技术、计算机技术)

资助基金：中国科学院资助项目60374016;广东省装备创新技术招标项目0612A2003040/6;广东省粤港关键领域突破项目20041A01;广东省科技厅重大科技专项基金2004A10403001;广东省广州市科技攻关项目2003Z2-D9011

在线出版日期：2006-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：102-104