基于精密离心机的三轴硅微谐振加速度计标定方法

摘要：

为更准确辨识三轴硅微谐振加速度计的误差系数,提高加速度计在飞行器上的加速度矢量测量精度,设计基于精密离心机的加速度计标定方法.分析硅微谐振加速度计的工作原理及误差项,在考虑离心机主要误差源的基础上建立包含零位偏移、标度因数、非正交安装误差、二次项误差与横向灵敏度的硅微谐振加速度计误差模型;设计离心机匀角加速度旋转的三姿态标定方法,在径向轴高g输入的同时,增加角加速度激励,可以更好标定加速度计横向灵敏度;对所提出的标定方法进行仿真,通过最小二乘法完成模型参数辨识.仿真结果表明,参数辨识相对误差可控制在2％以内,二次项系数与横向灵敏度辨识精度均小于1μg.

关键词：精密离心机、硅微谐振加速度计、横向灵敏度、二次项系数、误差分析、标定方法、参数辨识

所属期刊栏目：44

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2023-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：945-953