10.3969/j.issn.1000-7024.2014.11.022
基于FPGA的增量式光栅信号采集系统设计
针对步进光刻机工作台对高精度定位信息的高速实时采集要求,利用高精度增量式光栅尺实现工作台位置测量,设计基于FPGA的增量式光栅信号采集系统整体结构.介绍光栅尺A、B脉冲信号的相位鉴定及脉冲计数方法,提出基于双模光纤介质的高速实时串行传输机制,介绍光纤通信内核的控制结构及其FPGA实现方法,实现信号采集卡与上位机控制卡的高速实时通信.增量式编码器数据采集实验结果表明,该系统具有高速、稳定可靠等优点.
位置测量、增量式光栅、相位鉴定、串行传输机制、光纤通信内核
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TP274.02(自动化技术及设备)
国家重大科技专项基金项目2009ZX02308
2015-01-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
3820-3825,3836