基于FPGA的增量式光栅信号采集系统设计

摘要：

针对步进光刻机工作台对高精度定位信息的高速实时采集要求,利用高精度增量式光栅尺实现工作台位置测量,设计基于FPGA的增量式光栅信号采集系统整体结构.介绍光栅尺A、B脉冲信号的相位鉴定及脉冲计数方法,提出基于双模光纤介质的高速实时串行传输机制,介绍光纤通信内核的控制结构及其FPGA实现方法,实现信号采集卡与上位机控制卡的高速实时通信.增量式编码器数据采集实验结果表明,该系统具有高速、稳定可靠等优点.

关键词：位置测量、增量式光栅、相位鉴定、串行传输机制、光纤通信内核

所属期刊栏目：35

分类号：TP274.02(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科技专项基金项目2009ZX02308

在线出版日期：2015-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：3820-3825,3836