基于SABER平台的MEMS系统级模型研究
多端口组件网络方法是一种新的系统级统一建模方法,通过该方法形成的多端口三维组建库可以实现MEMS器件的快速设计与仿真.利用该方法,在SABER仿真平台上搭建了MEMS固态引信核心子系统的系统级行为模型,并进行了一系列的仿真分析,包括小信号频域仿真,时域仿真.以及灵敏度仿真,其结果接近于有限元分析结果.采用多端口组件网络方法进行MEMS器件的设计可以满足设计要求,保证精度,提高设计效率.
微机电系统、SABER平台、多端口组件网络、系统级仿真
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TP216(自动化技术及设备)
武器装备预研基金项目 9140C360502060C36
2008-12-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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