基于光栅相位偏折的高反射曲面三维形貌测量

摘要：

针对高反射曲面零件的三维形貌测量，提出基于迭代的光栅相位偏折测量方法，通过建立相位偏折信息与工件表面梯度和高度的对应关系，采用结合区域波前重构和路径积分的三维重建算法，由梯度恢复被测工件表面形貌。实验结果表明，该方法可实现对大面形或曲率较大的高反射曲面三维形貌的测量，测量范围达到150 mm×150 mm×20 mm，测量精度约为40μm。

关键词：高反射曲面、三维形貌测量、光栅相位偏折、区域波前重构、路径积分、时间相位展开

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51005165

在线出版日期：2013-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：299-303