10.3969/j.issn.1000-3428.2012.22.057
一种混合智能的Interbay系统调度方法
为提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出一种混合智能的Interbay系统调度方法.采用Takagi-Sugeno模糊逻辑方法对晶圆卡运输成本模型的参数权重进行自适应调节,用匈牙利方法对Interbay系统的运输小车和晶圆工件进行优化指派.实验结果表明,该方法在Interbay系统和晶圆加工系统的多目标综合性能方面优于传统方法.
晶圆制造、Interbay系统、调度、多目标、匈牙利方法、模糊逻辑
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TH166
国家自然科学基金资助项目60934008,71201048;河南工业大学博士基金资助项目2011BS029
2013-01-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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