10.3969/j.issn.1000-3428.2011.02.083
晶圆制造物料运输系统实时调度方法
Interbay物料运输系统的运行效率对晶圆制造系统的影响较大.为减少运输小车平均搬运工件时间、晶圆工件的等待时间和运输小车的临时性堵塞,提出一种基于匈牙利算法的实时调度方法,并建立工件调度模型.基于300 mm晶圆制造系统数据的仿真结果表明,与传统的Interbay物料运输调度方法相比,该方法能有效提高Interbay物料运输系统的综合性能.
晶圆制造、匈牙利算法、自动物料运输系统
37
TH166
国家"863"计划基金资助项目2007AA04Z109;国家自然科学基金资助项目50875172
2011-04-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
238-239,244