基于最速下降法的可制造性模型

摘要：

可制造性设计技术使设计者尽早得到设计版图能否被制造的信息,以减少交流等待的时间.为此,提出一种可制造性模型,用一个或者多个卷积核描述设计版图和轮廓之间的关系,用最速下降法求得,求解过程仅需要输入版图和轮廓对.实验结果表明,该模型能够对设计版图的结果进行较好的预测,与通过光刻模型仿真结果之间的误差在1.8%以内.

关键词：可制造性设计、可制造性模型、仿光刻模型

所属期刊栏目：36

分类号：TP311(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2010-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：225-228