10.3969/j.issn.1000-3428.2009.10.077
基于eM-Plant的虚拟晶圆制造自动组合装置
针对难以用解析法验证半导体加工装置的调度可行性问题,提出仿真建模研究的新方法.利用仿真软件eM-Plant建立晶圆制造中单臂自动组合装置的参数化仿真模型,构建一个虚拟的晶圆制造系统.该系统为研究自动组合装置控制问题提供有效手段,是验证半导体制造生产调度可行性的仿真平台.
晶圆制造、自动组合装置、仿真
35
N945(系统科学)
国家自然科学基金资助项目60574066
2009-06-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
232-234