基于扩展混合Petri网的晶圆制造系统建模

摘要：

提出了一种扩展的面向对象混合Petri网(EOHPN)的建模方法:针对晶圆制造系统的复杂性,在EOHPN模型中融入了面向对象的抽象机制;为了减少系统建模的复杂性,引入混合Petri网并用面向对象建模技术作了扩展.在定义EOHPN模型的基础上,作了对象模型的拓展.用实例描述了基于EOHPN的晶圆制造系统的建模过程,验证了模型在处理系统建模时的有效性.

关键词：晶圆制造、Petri网、面向对象模型、混合系统、建模

所属期刊栏目：33

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金60574054;国防重点实验室基金

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：237-239,254