基于Petri网的MEMS柔性设计建模方法

摘要：

微机电系统设计具有微尺度效应和多物理场耦合的特点,而现有的面向产品宏观结构的CAD系统难以满足微米尺度设计需求,为此提出一种基于Petri网的MEMS柔性设计建模方法.在分析MEMS设计特点、框架和流程的基础上,对已有设计系统进行抽象化和精细化,获得高内聚低耦合的设计模块,并将Petri网与设计系统各模块相互关联,建立了基于Petri网的MEMS柔性设计建模框架;然后通过添加前置库所和带权有向弧调节库所最大/最小标识数,控制设计流的总数;再添加控制库所形成控制回路,使并发变迁有序执行,消解并行设计冲突;最后用Petri网的状态空间求解结果控制各模块运行,满足复杂设计流的多元关系.以ACIS为几何造型内核开发了自主原型系统,以电容式三维硅微梳齿驱动器设计为例进行应用验证,结果表明,文中方法将现有MEMS设计从自顶向下和自底向上及其混合拓展到基于Petri网的柔性设计建模,使产品设计不局限于固定的设计流程,对于提高MEMS设计效率和质量具有重要意义.

关键词：Petri网、微机电系统、微尺度效应、多场耦合、柔性设计建模

所属期刊栏目：21

分类号：TH12;TP391;TN40

资助基金：国家自然科学基金50775201;国家科技支撑计划项目2006BAF01A45-09;浙江省自然科学基金重点项目Z107416

在线出版日期：2010-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1791-1799