工艺参数变动下的三维互连电容快速模式建库方法

摘要：

针对工艺不稳定性所带来的三维互连电容模式提取耗时激增的问题,提出一种增量式快速模式建库方法.该方法基于直接边界元计算,在2个紧邻工艺变动组合计算中,仅对前一组合计算所得的系数矩阵与右端项作局部修改,并取经预测修正的结果作为初值迭代提取后一工艺变动组合的电容,有着很高的精度和较高的加速比.

关键词：VLSI、三维电容提取、工艺参数变动、直接边界元法、模式、建库

所属期刊栏目：18

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金90407004;国家高技术研究发展计划863计划2004AA1Z1050

在线出版日期：2006-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1837-1843