保形(Conformal)结构互连电容的BEM模拟

摘要：

介绍了一种基于扫描线的复杂保形介质结构快速生成算法.该算法应用多边形的扩展运算和集合运算形成保形介质,同时处理保形介质中的凹槽,并已实现于边界元素法三维互连寄生电容提取软件B3D中.数值结果表明,该算法可靠,并有很高效率.

关键词：边界元素法、保形介质、扫描线

所属期刊栏目：13

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金69876024;美国Synopsys公司资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：684-689