干式超声清洗变截面空腔流场特性仿真分析

摘要：

针对显示器及半导体在制造过程中表面粘附微纳粉尘颗粒清洗不彻底的问题,设计了一种干式超声波清洗头,重点对其关键结构变截面空腔进行了研究分析.采用可压缩Navier-Stokes方程及Favre滤波处理建立了变截面空腔任意曲线坐标下的大涡模拟计算模型,利用ANSYS Fluent17.0对变截面空腔出口流场特性进行仿真模拟.针对不同空腔长深比、人口气流速度、空腔组数和腔口长度等因素,研究分析了变截面空腔出口气流速度、频率以及振幅的影响规律.结果表明,空腔长深比和人口气流速度大小对腔口流场特性的影响最大,腔口长度以及空腔组数对变截面空腔出口流场特性的影响较小,合理的变截面空腔结构参数组合能够产生稳定的超声频正弦波气流.研究结果可为干式超声清洗头的设计与工业应用提供理论指导.

关键词：干式超声清洗、变截面空腔、气流场特性、仿真

所属期刊栏目：39

分类号：TB559(声学工程)

资助基金：广东省重点研发项目;国家自然科学基金;国家自然科学基金;深圳市研究计划项目;深圳市研究计划项目

在线出版日期：2022-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：305-309,336