基于多体系统理论的晶圆测试平台误差建模

摘要：

针对晶圆测试平台内部构造和工作特点,采用了多体系统理论法对晶圆测试平台空间定位误差进行建模.首先通过低序体阵列描述多体系统拓扑结构,将晶圆测试平台各体之间的关系转换为各坐标系之间的关系,然后建立低序体之间的理想与实际特征变换矩阵,最终建立晶圆测试平台空间定位误差模型.上述模型包含了由于制造、装配、运动控制不精确等因素带来的空间定位误差.给出了晶圆测试平台空间定位误差的数学表达式,为后续误差补偿提供理论基础.

关键词：晶圆测试平台、多体系统理论、空间定位误差、变换矩阵

所属期刊栏目：36

分类号：TP202(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技支撑计划基金资助项目2014BAF07B01;陕西省工业科技攻关项目2017GY-039;陕西省教育厅服务地方专项计划项目16JF009

在线出版日期：2019-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：279-283