引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真

摘要：

在研究半导体的过程中,为了提高装备的优化性能,采用随机Petri网构造集束型装备模型,描述了装备的串行加工过程,引入了加工腔体的故障、修复、周期性维护的特性.通过仿真实验,分析实验数据,得出故障率、维护周期、维护时间与装备的晶圆生产周期的关系,还确定了传输时间与加工时间的比值与装备瓶颈变化的关系,实验结论具有一定的实际应用价值.

关键词：集束型装备、故障、周期性维护、模型、仿真

所属期刊栏目：27

分类号：TP202(自动化技术及设备)

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：354-358