10.3969/j.issn.1006-9348.2007.07.072
CAD/CAE系统中静电性能和机电性能仿真
在常规机械中很少考虑的微小静电力会对MEMS的电路产生一定影响,同时MEMS的元件在静电力作用下会发生变形,进而使得MEMS的几何结构和电容等产生变化,加之目前MEMS试制成本较高,因此,必须对整个系统的静电性能和机电性能进行分析.利用边界元素法,对MEMS各元件进行静电性能分析;采用有限元分析软件包对MEMS作机电性能分析,探讨了驱动电压与位移的关系、位移变化与电容的关系等.通过仿真测试发现,可提高设计质量,降低成本,缩短研制周期.
微机电系统、静电性能、机电性能
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TP319(计算技术、计算机技术)
2007-09-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
280-282,346